石英缸使用之后要清洗,石英缸如何清洗,石英缸在清洗中要注意几点呢?
可以用氢氟酸清洗;
用发烟硝酸或是热浓硫酸洗或浸泡3到五分钟,必要时再或是重覆几次都可以洗净。
高温烧,蒸汽吹。
下面请看本小编整理的详细清洗石英方缸的注意要点:
清洗石英管的整个过程应严格按照扩散工序相关工艺安全标准进行。
清洗槽内如果存有以前用过的氢氟酸溶液,溶液不脏的情况下可以再往里面加10瓶氢氟酸(由生产人员调配);如果原有的氢氟酸溶液很脏,则应全部排空并洗净槽体,然后通知生产人员配液;如果槽内无以往剩下的氢氟酸溶液,洗净槽体后请生产人员配液。
清洗人员必须佩戴好防护眼镜和防酸手套,然后将备用石英方缸放入石英方缸清洗机靠近里面的槽内,缸口朝向制绒间,缸尾指向扩散炉所在方向。拉下防护门,将酸槽清洗时间设定为30min,按下控制面板中"酸槽启动"按钮。
清洗人员戴好防护眼镜和手套,将石英方缸从酸槽取出,轻放入水槽。将水槽内的水排空后用水枪冲洗石英方缸内外壁约5分钟。冲洗石英方缸内壁时不要按下"水槽启动"按钮,如果已经按下了应再按下"水槽结束"按钮。然后把水枪拉到石英方缸缸口,从缸口向缸尾方向冲洗管内壁。冲洗时应仔细认真,不要有残留未冲到的区域。2分钟后,将石英方缸旋转180°,再用同样方式冲洗2分钟。