今天小编给大家讲解一下平面平晶的规格和测量方法：

　　1、平面平晶 YDF-1 标准外形尺寸 单位：mm

　　规格30 45 60 80 100 150 200 250

　　直径30 45 60 80 100 150 200 250

　　高度15 15 20 20 25 30 40 45 平晶

　　特殊规格尺寸平面平晶,环形平面平晶,方形平面平晶可定做.

　　2、平面平晶制成两种精度： 1级 和 2级

　　3、平面平晶工作面的平面度偏差允许值为：

　　直径为 30至60mm 1级平晶 0.03μm

　　直径为 30至60mm 2级平晶 0.1 μm

　　直径为 80至150mm 1级平晶 0.05μm

　　直径为 80至150mm 2级平晶 0.1 μm

　　更大尺寸平面平晶平面度偏差允许值，根据国家标准。

　　4、平面平晶工作面的局部偏差允许值为： 0.03μm

　　5、平面平晶测量工作应在室温2 0℃±3℃条件下保持数小时后进行。

　　测量方法

　　平晶是利用光波干涉现象测量平面度误差的，故其测量方法称为平晶干涉法,也称技术光波干涉法。测量时,把平晶放在被测表面上,且与被测表面形成一个很小的楔角 θ，以单色光源照射时会产生干涉条纹。干涉条纹的位置与光线的入射角有关。如入射光线垂直于被测表面，且平晶与被测表面间的间隙很小,则由平晶测量面P反射的光线与被测表面反射的光线在测量面 P发生干涉而出现明或暗的干涉条纹。若在白光下，则出现彩色干涉条纹。如干涉条纹平直，相互平行,且分布均匀,则表示被测表面的平面度很好；如干涉条纹弯曲，则表示平面度不好。其误差值为f= (v/ω)×(λ/2)

　　λ为光波波长，白光的平均波长为0.58μm,ν为干涉带弯曲量，ω为干涉带间距。