干式螺杆真空泵是技术含量非常高的科技产品，主要应用于高纯净的真空工艺过程 , 真空度极高，可适应恶劣工况，具有抽取凝性、含颗粒物气体的能力，特别适 宜于 电 子，化工和生物医药等领域。干式螺杆真空泵的损坏主要是由以下因素引起的。

　　一、螺杆泵转子表面锈蚀原因分析

　　真空泵进料介质含二氧化硫、水，二氧化硫与水结合生成亚硫酸，亚硫酸对金属有腐蚀作用，为了防止转子、泵腔腐蚀，在转子和泵腔表面涂特氟龙图层。转子及泵腔出现腐蚀说明图层破坏，亚硫酸已经腐蚀到泵腔。

　　二、转子及泵腔特氟龙图层破坏原因分析

　　转子及泵腔表面图层破坏原因可能有三：

　　一是有固体颗粒进入泵腔，固体颗粒造成涂层破坏。

　　二是有化学物质在泵腔和转子上形成胶质，胶质碳化变硬，破坏转子及泵腔涂层。

　　三是其他原因。

　　1、固体颗粒破坏分析

　　检查泵入口设备、管道，没有发现自由活动固体颗粒如金属碎片、铁削等。

　　2、胶质积碳破坏分析

　　泵入口管道内壁附着物，该物质为深棕褐色，经分析内含铁元素、碳元素、氧元素等，是丁二烯、环丁砜等聚合物质，该物质粘合在管道内壁上。如果该物质粘合在泵腔和转子表面易碳化变硬，从而破坏转子表面图层。

　　3、工艺因素分析

　　真空泵气相出口压力为80kpa(A)，是负压，而泵液相出口为常压，在正常情况下，导致泵出口液体不能正常进入地下液体罐，而形成回流，从而造成泵出口集聚液体物质，这些液体物质内含亚硫酸，泵出口集聚亚硫酸液对真空泵形成冲击腐蚀，应该说泵出口液体回流是造成泵转子及泵腔腐蚀的主要原因。