用发烟硝酸或是热浓硫酸刷洗或浸泡3到五分钟。必要时再延长或是重覆几次都可以洗净。石英玻璃上的任何有机或是无机残留物。又不至於损伤石英玻璃，之後再用清水多次冲洗乾净即可但作业前，得备装妥所有安全防护措施，并由训练合格的化学专业人员操作会更好些。