旋涡真空泵广泛应用于半导体行业、科学仪器行业、机械设备行业、医疗设备行业、医疗设备行业、真空冶金行业等。涡旋泵作为分子泵和小型低温泵的前级泵是获得无油真空系统的最佳配置。下面我们来看看旋涡真空泵的分类。
1、公转型
公转型是一个涡旋固定不动( 称为静涡旋) ,另一个绕着它公转平动( 称为动涡盘) ,动涡盘由曲柄轴驱动,密封点位置随主轴同步转动。它整体结构简单、零件少、涡旋回转线速度小、机械磨损少,但需进行平衡设计。涡旋真空泵利用最外侧涡圈包容气体形成封闭吸气腔。为了减少涡盘末端和进气口之间的流导,常将进气口设在涡旋盘外圈末端附近。同时为了保证中心压缩腔中的气体在排气过程中尽量排走,一般将排气孔设在静涡盘中心附近。因为涡旋泵内压缩比不是很大,常设置排气阀以消除压缩不足,但应使排气阀与涡圈顶部之间的容积尽可能小。为了提高抽速或减少涡盘尺寸,常设计采用双侧涡旋。
2、回转型
回转型是由两个涡旋盘心轴分别装在两侧轴承上,其中一个由电机直接驱动,另一个由十字滑环机构带动,沿相同角度旋转。其密封位置形成一条线,方向始终不变,泵采用立式结构。驱动电机在机壳内上部,涡盘在下部。因其密封方向不变,回转径向密封既便于人为控制,又能避免涡圈侧面接触而需进行的卸载运转,但其整体结构复杂、零件多、机械磨损高。
3 、转型和回转型的区别
(1) 转动形式不同。公转型是一个涡旋固定不动为静涡旋,另一个为动涡旋,动涡旋绕着静涡旋作公转平动。而自转型的两个涡旋盘各自绕其自身转轴实现两者同步同方向转动。
(2) 密封位置和方向不同。回转型的两个涡旋盘齿的径向密封位置形成一条线,密封线方位始终固定不变。公转型涡旋机械径向密封的位置和方向却随着主轴同步转动。即主轴旋转一周,径向密封线的方位变化360°。
(3) 涡旋盘所受的气体径向力和切向力的方向不同。公转型涡旋机械由动涡旋随曲轴作偏心公转,因而动涡旋受气体径向力和切向力的方向绕曲轴同步回转。而回转型两个涡旋盘所受气体径向力和切向力在空间的位置和方向则始终不变,径向力在密封线方向,切向力垂直于密封线方向。因而不能像公转型涡旋机械那样,应用偏心套或滑动轴套径向随便机构自动调节涡旋齿侧面间隙,达到径向密封。公转型涡旋曲轴承受均匀载荷,而回转型涡旋曲轴承受局部载荷,设计时应特别注意。
(4) 平衡不同。在回转型涡旋中,由于不使用偏心轴,两个涡旋各自绕自身轴转动,在不考虑涡旋齿偏心质量情况下,可不考虑离心力存在,也就不需设置平衡块。而公转型必须考虑动涡旋的偏心质量,设置平衡块来平衡东涡旋盘的离心惯性力和离心惯性力矩,才能使机器平稳工作。
(5) 倾覆力矩和轴向力不同。回转型涡旋机械由于两涡旋盘都转动,都承受同样大小的倾覆力矩和气体轴向力,在设计时,需同时考虑轴向力推力、轴承载荷。而公转型只有一个动涡盘受倾覆力矩作用,所以只需考虑动涡盘所受的倾覆力矩和轴向力。