（二） 高真空故障
按上述问题查找，排除漏气的可能性后，引起高真空上不去或者难上去的因素如下：
1.上下阀不动作
检查方法：
空气压缩机是否0.4Mpa以上压力，电磁换向阀是否烧坏或脱线？上下阀开关是否失灵？有关的接触器触头或线圈是否烧坏。
2.扩散泵油氧化、老化（渐进性）。
排除方法：清洗扩散泵（参照设备的维护与保养）。
3. 扩散泵冷却管大部脱焊（缺水造成）。
排除方法：扩散泵壁与冷却管脱焊部位的接触面彻底清理干净。涂上一些饱和氯化锌，用500W电铬铁或火铬铁锡焊。
4.冷却水少或断水。
排除方法：经常注意冷却水是否足够，出来的水温控制在35℃以下，经常检查水流继电器及电铃是否正常，免得出现断水时不能报警而致使扩散泵冷却管脱焊。
5.下阀不动作。
排除方法：参照第1点进行。
6. 罗茨泵不正常
排除方法：检查罗茨泵真空度是否在8×10-2帕以上，如果真空度低于4×10-1帕，应参考有关资料检修。
（三）在正常状态，为什么往工作室充大气，维持泵冒烟？
1、阀盖底有杂物垫住胶圈，造成压不死阀盖。
排除方法：待扩散泵冷却后，
手动开上阀换向阀，清理上阀盖底部及胶圈。
2、下阀盖胶圈变形。
排除方法：换新胶圈。
3、压缩机气压不足时关上阀及下阀，造成关不死。
排除方法：保持0.4Mpa压力，压缩机最好装上压力继电器。
（四）为什么换新扩散泵油后，高真空很难抽上去？
1、扩散泵清洗不干净？
排除方法：把扩散泵油倒出来拿到光线充足的地方观察，发现油中有反光微粒时，则证明油中有铝粒，因清洗不彻底，必须重新清洗、换油。
2、扩散泵油暴露大气时间长，可能失效。
排除方法：连续加热到2小时以上，高真空还是上不去，要重新清洗扩散泵，烘干后另换新油。
3、扩散泵油不纯。
排除方法：由于扩散泵油渗进其它油类，造成扩散泵不能正常工作，参照第2点处理，扩散泵油要专人保管。
4、 扩散泵装配不良。 排除方法：重新安装。
（五）为什么真空泵出现喷油？
1、油量过多。
排除方法：保持油位在泵的油镜中间。
2、长期抽大气。
排除方法：不允许长期抽大气，对泵腔光洁度受影响，有可能会导致旋片断裂。
3、油箱盖及挡油板放反或挡油板漏放。
排除方法：正确装配油箱盖及挡油板，检查是否装有挡油片。
（六）为什么启动粗抽泵一会，就听到越来越大的“啪啪”声？
分析：
这种情况多数发生在北方气温低于5℃以下，室内无保温措施，泵油变稠，粘度增大，当泵启动时，旋片被油粘住不容易抛出来，随2块旋片转到垂直位置时，在上头的旋片应把下面的旋片挤出来，造成下边旋片突然往下
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