金属一般在真空系统中担任真空腔体以及真空管路的部份，要求金属必须能够被容易焊接，接合以及密合。材料自身要有好的机械性质，能够抗压力，同时低蒸汽压，低溢气量且对气体有极佳的抗渗透率。若对于特殊用途，如灯丝，绝热或是热传导则是另当别论。常见的金属有铝以及不锈钢。一般的金属其蒸汽压都很低，然而有少数金属其蒸汽压在真空系统baking时会影响到真空度Zn,Pb,Cd,Se,S例如黄铜，有些螺丝含有Cd，303不锈钢含有S以及Se含有Zn以及Pb者之合金在工作环境达400-500C时，将会严重破坏真空。在超高真空中选用金属不外乎是，不锈钢，镍合金，无氧铜等。

　　气体分子溶入金属之中然后进行扩散随之穿透金属。氢气是几个少数气体分子中最容易穿过金属的气体。若金属部份有锈蚀现象发生，则该处最容易发生氢气渗透，因为水气容易与铁作用,形成较高的氢分压。氢在金属中乃是以原子方式扩散，在穿透后再形成分子。不锈钢中，氢的渗透率会因碳的含量增加而变化，因此低碳钢的不锈钢是较佳的选择。

　　玻璃对于气体的渗透程度取决于玻璃的致密以及气体分子的大小而定，密度越大者，气体分子越大者。渗透率越小。一般的玻璃比其单晶的石英，其阻挡He气体渗透的能力小107倍。至于其他气体也是如此。各种气体对于有机高分子都具有极高的渗透率（纵使是惰性气体也是如此）。二氧化碳对于橡胶有很高的渗透率，相对于空气则就小了许多。倘若在一压力差相差极大的环境里，则高渗透率的气体其穿越的机会远大于低穿透率的气体。