光学均匀性即表征材料内部折射率不均匀的程度，若光学不均匀，则光通过介质后会发生相位差，可能导致光学系统无法实现预期的功能，甚至无法正常工作。作为各类高精尖光学系统必备的透镜材料，熔石英玻璃的光学均匀性直接影响光学系统的成像质量。从“九五”开始，中国建筑材料科学研究总院致力于高均匀石英玻璃新工艺、新技术、新装备和相关基础理论的研究，先后在“十五”期间在国内首创立式化学气相沉积工艺，使大尺寸、高均匀石英玻璃的制造成为可能；“十一五”期间实现直径300毫米口径光学均匀性3×10-6并可批量化生产；通过“十二五”科技攻关，光学均匀性从3×10-6到2×10-6实现了质的飞跃，形成全自主知识产权的成套技术和装备，2014年荣获建材行业科学技术发明类二等奖，带动行业进步，相关产品应用于高精度测绘相机系统等高新技术领域。

　　立式化学气相沉积法将沉积方向由横向变为竖直，使得长时间熔制大石英玻璃砣成为可能；封闭式炉膛使炉膛内部的气流场不受外界气流影响，且避免了因外部污染物的掉落降低石英玻璃的品质。2003年，在发明了立式化学气相沉积炉的基础上又开发出了立式沉积炉、沉积用燃烧器等成套装备。

　　2004年，采用四氯化硅气相沉积合成的石英玻璃最大尺寸可达Φ400mm，全口径内无气泡、无杂点，Φ350mm口径光学均匀性可达2×10-6，达到俄罗斯同类产品水平，满足当时我国航天航空、核技术等领域的应用需求。