石英玻璃，由单一组分的二氧化硅组成的特种玻璃，按其纯度分高纯石英玻璃 、普通石英玻璃和掺杂石英玻璃三类，那么对于石英玻璃来说它是如何制备的呢？下面就让我们一起来了解下吧。

　　理化性质：机械强度高，耐高温、热膨胀系数低，耐热震、化学稳定性好，介电强度高、折射率小，在紫外、可见和红外光区透过性优良，低温或高温绝缘性能好。

　　制备方法

　　1.化学气相沉积法（CVD法）采用鼓泡法通过带料气体将四氯化硅液体带入燃烧器，然后由氢-氧气体混合燃烧产生高温火焰对气态四氯化硅进行水解、融化，反应后生成二氧化硅沉积在基体上。CVD 法沉积装置按结构可以分为卧式和立式两种： 相比之下，立式沉积装置中基础杆采用垂直布局，沉积速率更高，能制备大尺寸石英玻璃。

　　反应式：SiCl4（气态）+2H2+O2（气）→SiO2↓+4HCl↑

　　CVD法合成石英玻璃金属杂质含量低，性能明显优于熔融石英玻璃，比如高的深紫外透过率、高的光学均匀性和优异的耐辐照性能，能满足部分高技术领域的需求。但是CVD法制备的石英玻璃存在一个严重的缺陷： 由于制备过程始终处于一个氢过量的氛围，所以备的石英玻璃中羟基含量较高。研究者普遍认为羟基导致石英玻璃的红外吸收光谱在2.73 μm 处有很强的吸收峰，并且羟基的存在还会导致石英玻璃的密度降低，从而降低其机械性能和热学性能。

　　2.高频等离子火焰法

　　整套沉积装置中与合成工艺密切相关的是等离子灯炬部分，该灯炬采用四管制：最内部石英玻璃管用于输送原料气体，第二层石英玻璃管用于输送氧气，第三层石英玻璃管用于输送工作气体，最外层采用含氧气体作为冷却气，在最外层的石英玻璃管外环绕三圈高频线圈用于激发等离子体; 内管输送的原料气体与第二层管输送的氧气混合后，进入等离子区进行反应，然后生成石英玻璃微粒，沉积在基台上完成玻璃化过程，得到高品质的无氢石英玻璃锭或石英玻璃砣。