真空腔体在薄膜涂层、微电子、光学器件和材料制造中，是一种能适应高真空环境的特殊容器。真空腔体通常包括一系列部品——如钟形罩、基板、传动轴以及辅助井——这些构成一个完整的真空腔体。

　　可以说不论是真空镀膜或是表面分析等作业都需要在真空腔体内完成，真空腔体的品质亦为真空设备性能好坏之关键因素之一。北京晶石诺具有制造各式客制化真空腔体的经验，可以根据客户不同的需求来设计和制造，例如大学实验室的表面分析用超高真空系统（UHV system），真空度要求达到10-10 torr，薄膜太阳能电池的特殊制程腔体，基板温度须达到600℃，真空腔体的冷却设计就非常重要，真空腔体常用的材料有不锈钢、铝合金、碳钢等，形状有矩形、圆筒型和多边形，表面处理有喷砂、抛光、电解抛光等，另外也可以依照客户的需求进行热处理应力消除或是振动应力消除，可以将真空腔体设计制造的服务延伸至真空模组或真空系统整合，为客户提供了更完整的真空制程解决方案。