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有关真空观察窗泄露分析
发布时间:2021年03月06日    点击次数:    作者:石英仪器
  分子或晶体间隙的渗透(permeation)渗透的机制为气体分子经由材料的分子间隙或晶格间的空隙进入真空系统内部。除非更换不同的材料,否则渗透将不可避免且无法改善。渗透与环境温度、材料选用、气体分子大小以及气体分子浓度有关。例如,玻璃及石英在性质上较金属材料容易被渗透,又氢气或氦气因分子较小,所以比氧气或氮气容易渗透。
  以上找到只是可能导致真空泄漏的几种原因。要想找到漏点,测漏时机的选择是非常重要的一个环节。压力未达帮浦所被预期的工作极限、抽气速率过慢、真空系统再组装或翻修后以及试验品质管制(例:因实验需要监测特定气体分压)等都不是进行真空检漏的最佳时机。真空检漏的时候也对真空漏点进行初步判定。此时就要掌握初步判断假漏与实漏的方法:将帮浦与系统间的阀门(gate valve)关闭,同时观察压力随时间的变化。其中压力随时间线性上升为实漏;压力上升至一定值后回气率明显趋缓则为假漏;若假漏和实漏同时发生,则呈持续上升的曲线。
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