很多人都比较里了解真空观察窗以及用什么材料制成的,那你了解常用真空腔体材料有哪些?
真空材料
◆奥氏体不锈钢,比如321、347、304钢(碳含量越高,渗漏越厉害);
◆铝或铝合金,H2渗漏小,容易加工,放气率低,但强度低,易变形;
◆陶瓷——玻璃化的氧化铝,放气率低,不易吸附气体,可耐高温 (1500摄氏度),但陶瓷易碎且不易加工;
◆硼酸盐玻璃,硼硅酸玻璃,石英,用于小系统或作为观察窗. 易加工耐腐蚀;
◆密封圈:腈橡胶或丁钠橡胶通常作为垫圈,比如O型圈。不耐高温氟化橡胶可以耐200摄氏度, 常用于低压。
真空系统设计:
◆确定系统的种类和真空度;
◆选取真空阀;
◆选取连接管道并计算其流导;
◆计算并选取各种真空泵;
◆选取法兰等零件;
◆各种接头的密封考虑;
◆观察窗的设计;
◆真空系统的材料选取(光电磁等性能);
◆真空规的选取;
◆样品架的选择和样品传递系统;
◆材料脱气处理;
◆清洁真空表面;
◆安装与检漏。