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真空腔体材料有什么
发布时间:2018年08月09日    点击次数:    作者:石英仪器
  很多人都比较里了解真空观察窗以及用什么材料制成的,那你了解常用真空腔体材料有哪些?


  真空材料

  ◆奥氏体不锈钢,比如321、347、304钢(碳含量越高,渗漏越厉害);

  ◆铝或铝合金,H2渗漏小,容易加工,放气率低,但强度低,易变形;

  ◆陶瓷——玻璃化的氧化铝,放气率低,不易吸附气体,可耐高温 (1500摄氏度),但陶瓷易碎且不易加工;

  ◆硼酸盐玻璃,硼硅酸玻璃,石英,用于小系统或作为观察窗.  易加工耐腐蚀;

  ◆密封圈:腈橡胶或丁钠橡胶通常作为垫圈,比如O型圈。不耐高温氟化橡胶可以耐200摄氏度, 常用于低压。

  真空系统设计:

  ◆确定系统的种类和真空度;

  ◆选取真空阀;

  ◆选取连接管道并计算其流导;

  ◆计算并选取各种真空泵;

  ◆选取法兰等零件;

  ◆各种接头的密封考虑;

  ◆观察窗的设计;

  ◆真空系统的材料选取(光电磁等性能);

  ◆真空规的选取;

  ◆样品架的选择和样品传递系统;

  ◆材料脱气处理;

  ◆清洁真空表面;

  ◆安装与检漏。
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